上海松江产LED晶圆倒片机将进入规模产线运行_激

2019-10-05

  由上海福赛特智能设备有限公司独立研发的LED半导体晶圆倒片机将于年内在三安生产线投入量产运营。该设备用于LED外延工艺,可实现晶圆从原料仓至PVD工序间,以及PVD工序到MOCVD间的周转。 上海福赛特介绍,该设备采用行业领先的洁净机器人、先进的激光传感器和CCD,以及自主研发的载盘寻边器等,配合自主研发的信息化系统,飞巴商旅战略并购TMC老牌企业完成A轮数千万融资。可自动与企业生产的MES系统实现数据交互,连接各

  上海福赛特介绍,该设备采用行业领先的洁净机器人、先进的激光传感器和CCD,以及自主研发的载盘寻边器等,配合自主研发的信息化系统,可自动与企业生产的MES系统实现数据交互,连接各个工艺段中的独立设备系统,组成闭环的智能信息化系统。同时,可实现晶圆自动上下片、晶圆寻边、晶圆WaferID自动读取和校对、生产工单的解批和并批等。

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